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技術(shù)文章
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    半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀
    型　號(hào)：PS-2DKP
    品　牌：日本新宇宙
    技術(shù)指標(biāo)：檢測(cè) SiH4（SiO2）
    文山半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀-PS-2DKP-日本新宇宙
    型號(hào) PS-2DKP 
    檢測(cè)原理 定電位電解式+光散射式
    檢測(cè)氣體對(duì)象 SiH4（SiO2）
    指示范圍 SiH425ppm/SiO210mg/cm3
    傳感器供給電源 由各指示計(jì)組件供給
    泵電源 DC24V±10%
    可延長(zhǎng)距離 1km（使用2mm2線）
    檢測(cè)方式 泵吸引式
    防爆結(jié)構(gòu) 非防爆結(jié)構(gòu)
    使用溫度范圍 0℃～40℃
    使用電纜線 2芯+2芯屏蔽電纜線
    重量 約6.2kg

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